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Online Kontrolle dünner Schichten in der Metallindustrie

 

3. Kolloquium des GDCh Arbeitskreises Prozessanalytik -
15. - 16. November 2007 in Stuttgart

- von wenigen Nanometern bis hin zu mehreren hundert Mikrometern

W. Kessler
Steinbeis Transferzentrum Prozesskontrolle und Datenanalyse, Reutlingen
R.W. Kessler
Hochschule Reutlingen, Institut für Angewandte Forschung, Reutlingen

 


Dünne Schichten
auf Metallen im Bereich von wenigen Nanometern bis hin zu mehreren hundert Mikrometern spielen seit langem eine wichtige Rolle in der Industrie sei es als funktionaler Korrosionsschutz oder als dekorative Oberflächenveredelung. Auch in der Reinigungstechnik wird immer häufiger eine schnelle Messung der Oberflächenkontamination gefordert.


 

Wichtige Online-Verfahren zur Messung dünner Schichten

Ellipsometrie
Laser und spektr. Ellipsometrie
Röntgenfluoreszenz
Magnetinduktive und Wirbelstrom-
verfahren

Interferenz- und Reflexionsspektroskopie


 


Anwendungen in der Prozesskontrolle

Lack- und Chromdicken
Beschichtung von Scheinwerfern



 

Messen großer Flächen

• Traversiereinrichtungen
– erfordern Aufwand, Platz, Wartung
– keine 100% Kontrolle
• Mehrere Messeinrichtungen parallel
– teuer

Alternative
Pushbroom Imaging
– Viele Messungen parallel mit einer Messeinrichtung
– 100% Kontrolle möglich

Vorteile:
• Mittlere bis hohe laterale Auflösung (1280 x 1024 pixels)
• Mittlere bis hohe spektrale Auflösung (1280 x 1024 pixels)
• sehr flexibel einsetzbar
• viele denkbaren Konfigurationen → Individuallösung
Online-Kontrolle möglich

Nachteile:
• keine "cash and carry" Lösung, Wissen ist einzubringen
• Hoher Datendurchsatz

 


 

Aufbau einer Prozesslinie

Messsung Öl auf Stahl
Traversieranlage mit Referenzmessung at-ine
– referenzmessung online



Download Abstract (15 KB)

Download Vortrag (3 MB)

 

 

 


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