Dünne Schichten
auf Metallen im Bereich von wenigen Nanometern bis hin zu mehreren
hundert Mikrometern spielen seit langem eine wichtige Rolle in der Industrie sei es als
funktionaler Korrosionsschutz oder als dekorative Oberflächenveredelung. Auch in der
Reinigungstechnik wird immer häufiger eine schnelle Messung der
Oberflächenkontamination gefordert.
Wichtige Online-Verfahren zur Messung dünner Schichten
• Ellipsometrie
• Laser und spektr. Ellipsometrie
• Röntgenfluoreszenz
• Magnetinduktive und Wirbelstrom-
verfahren
• Interferenz- und Reflexionsspektroskopie
Anwendungen in der Prozesskontrolle
• Lack- und Chromdicken
• Beschichtung von Scheinwerfern
Messen großer Flächen
• Traversiereinrichtungen
– erfordern Aufwand, Platz, Wartung
– keine 100% Kontrolle
• Mehrere Messeinrichtungen parallel
– teuer
Alternative
• Pushbroom Imaging
– Viele Messungen parallel mit einer Messeinrichtung
– 100% Kontrolle möglich
Vorteile:
• Mittlere bis hohe laterale Auflösung (1280 x 1024 pixels)
• Mittlere bis hohe spektrale Auflösung (1280 x 1024 pixels)
• sehr flexibel einsetzbar
• viele denkbaren Konfigurationen → Individuallösung
• Online-Kontrolle möglich
Nachteile:
• keine "cash and carry" Lösung, Wissen ist einzubringen
• Hoher Datendurchsatz
Aufbau einer Prozesslinie
Messsung Öl auf Stahl
– Traversieranlage mit Referenzmessung at-ine
– referenzmessung online
Download Abstract (15 KB)
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