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Rubriken: Gasanalytik - Flüssigkeitsanalytik - Feststoffanalytik - Partikelanalytik - Physikalische Parameter - Probenaufbereitung
Atline-, Online- und Inline-Prozessanalysatoren - für die Analytik von Flüssigkeiten - Prozesswasser, Säuren, Laugen, Trinkwasser, galvanische Bäder u.v.a. - NIR-Prozessspektroskopie für die pharmazeutische und chemische Industrie - anorganische Komponenten in Gasen und Aerosolen der Umgebungsluft mittels IC

Online-Prozessanalysentechnik am Beispiel der Tetramethylammoniumhydroxid-Überwachung (TMAH)
in Photolackentwicklern

Die Chemikalöienreinheit
Die in der Herstellung von Halbleitern eingesetzten Chemikalien müssen eine ausserordentliche Reinheit aufweisen, da bereits Spuren von Verunreinigungen die elektrischen Eigenschaften negativ beeinflussen. Bei der Herstellung von gedruckten Schaltungen wird der auf den Wafer aufgebrachte lichtempfindliche Photolack mithilfe einer Fotoschablone an definierten Stellen belichtet und dann in einer chemischen Reaktion entwickelt. Der Entwickler enthält 2.38 bis 2.62% Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH) und sorgt dafür, dass sich die belichteten Bereiche leicht vom Substrat ablösen lassen.

Die Überwachung
der TMAH-Konzentration in der Entwicklerlösung erfolgt vollautomatischen Prozessanalysensystemen von Metrohm Process Analytics

2035 Process Analyzer

TMAH Photolackentwickler

Metrohm Prozessanalytik für die chemische Analyse

Analytic Journal

Online-Prozessanalysentechnik am Beispiel der Tetramethylammoniumhydroxid-Überwachung (TMAH) in Photolackentwicklern

Online-Prozessanalysentechnik am Beispiel der Tetramethylammoniumhydroxid-Überwachung (TMAH)
in Photolackentwicklern