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Rubriken : Gasanalytik - Flüssigkeitsanalytik - Feststoffanalytik - Kontrolltechnologie
Optische Messtechnik und Optische Komponenten für die Prozessanalytik
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Weißlicht-Interferometer prüft feinste Strukturen
Fortschritte in der Mikrosystemtechnik und der Mikroelektronik steigern die Nachfrage nach Messungen von Strukturdetails, um zum Beispiel Kanaltiefen und Kantenprofile auf einem Lab-on-a-Chip zu charakterisieren, Stufenhöhen, Co-Planarität und andere Packaging-Parameter zu bestimmen oder MEMS anhand ihrer 3D-Strukturprofile und abgeleiteter Oberflächenparameter zu charakterisieren, wie z.B. Rauheit, Ebenheit und Deformation.- März 2022 |
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